| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft einen Biegewandler (B2), aufweisend mindestens eine piezoelektrische Aktorschicht (A1-A10) und mindestens ein Sensorelement (S1, S2, E1-E6) zum Erfassen mindestens eines Verformungsparameters des Biegewandlers (B1), wobei das Sensorelement (S1, S2, E1-E6) mindestens eine piezoelektrische Sensorschicht (S1, S2) aufweist. Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zum Bestimmen mindestens eines Verformungsparameters eines Biegewandlers (B2), welcher mindestens eine piezoelektrische Aktorschicht (A1-A10) aufweist, wobei der mindestens eine Verformungsparameter anhand mindestens eines elektrischen Signals (Sm1, Sm2) mindestens einer piezoelektrischer Sensorschicht (S1, S2) des Biegewandlers (B2) ermittelt wird. Dieser Biegewandler (B2) ist besonders preiswert herstellbar und ermöglicht eine besonders genaue Bestimmung mindestens eines Verformungsparameters.</p> |
