发明名称 Patterning method of graphene using microfluidic systems
摘要 <p>본 발명은 미세유체 채널 시스템을 이용한 그래핀의 패터닝방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 그래핀 산화물에 미세 유체 채널을 형성시킨 후 이 채널 부분에만 국부적으로 열을 가하여 그래핀으로 환원시키는 획기적인 패터닝방법에 관한 것이다. 따라서, 이렇게 형성된 패터닝된 그래핀은 광 도파로 혹은 전자회로의 전자 소자 활용이 가능하며, 반도체 성질을 가지므로 가스 센서 혹은 바이오 센서, 중금속 탐지 센서 등으로 활용이 가능하다.</p>
申请公布号 KR101212012(B1) 申请公布日期 2012.12.13
申请号 KR20110053719 申请日期 2011.06.03
申请人 发明人
分类号 G01N27/00;H01L21/02;H01L21/027 主分类号 G01N27/00
代理机构 代理人
主权项
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