| 摘要 |
본 발명은 액정표시장치에 관한 것으로, 액정표시장치용 어레이기판의 제조방법에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 박막 트랜지스터에 에치 스토퍼(etch stopper)가 구성된 어레이기판을 형성함에 있어, HSQ(하이드로겐 실세스퀴옥산)물질로 상기 에치 스토퍼를 형성함으로써 막 형성 공정을 단순화 할 수 있는 장점이 있다. 또한, 본 발명은 4마스크 공정으로 어레이기판을 형성함에 있어, 데이터 배선의 하부에 반도체층이 존재하지 않는 형태로 패턴하여, 상기 반도체층에서 발생한 광전류가 화소영역에 미치는 영향을 제거할 수 있도록 하는 장점이 있다. |
