工程气体分离供给型大气压等离子装置及其使用方法

摘要

本发明涉及一种工程气体分离供给型大气压等离子装置及其使用方法。本发明的工程气体分离供给型大气压等离子装置包括：接地并下部开放的外壳；在所述外壳内部与所述外壳隔开配置的分段射频（RF）电极；向所述分段射频电极供电的供电部；配置在所述外壳内部，将所述分段射频电极固定在所述外壳上，并将所述外壳与所述分段射频电极隔开的绝缘体。在所述外壳侧面下部和所述分段射频电极侧面下部形成相互隔开并相对的放电空间，在所述放电空间内，分别供入等离子发生气体和工程气体，所述等离子发生气体和所述工程气体通过不同的通路分别供向所述放电空间。

主权项

一种工程气体分离供给型大气压等离子装置，其特征在于：所述工程气体分离供给型大气压等离子装置包括：接地并下部开放的外壳；在所述外壳内部与所述外壳隔开配置的分段射频电极；向所述分段射频电极供电的供电部；配置在所述外壳内部，将所述分段射频电极固定在所述外壳上，并将所述外壳与所述分段射频电极隔开的绝缘体；在所述外壳侧面下部和所述分段射频电极侧面下部形成相互隔开并相对的放电空间，在所述放电空间内，分别供入等离子发生气体和工程气体，所述等离子发生气体和所述工程气体通过不同的通路分别供向所述放电空间。