WORK-PIECE TREATMENT SYSTEM HAVING LOAD LOCK AND BUFFER,申请号KR20057022057-传众专利搜索

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发明名称	WORK-PIECE TREATMENT SYSTEM HAVING LOAD LOCK AND BUFFER
摘要
申请公布号	KR101196914(B1)	申请公布日期	2012.11.05
申请号	KR20057022057	申请日期	2004.05.21
申请人		发明人
分类号	H01L21/68;B65G49/07;H01L21/00;H01L21/677	主分类号	H01L21/68
代理机构		代理人
主权项
地址

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