| 发明名称 | 离子溅射仪溅射靶 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开的离子溅射仪溅射靶，包括上盖板，所述上盖板上侧设有接线柱，其中，所述上盖板下侧设置靶头，所述靶头为圆形，所述靶头直径为50mm～60mm，所述靶头外表面设有溅射层，所述溅射层涂有溅射材料；所述靶头外侧设有压盖；所述上盖板和靶头通过螺栓固定连接。本实用新型提供的离子溅射仪溅射靶，安装简单，使用方便，减少了靶头的面积，仅需靶头正面涂覆溅射材料，节约了材料，降低了后期使用成本。 | ||
| 申请公布号 | CN202499900U | 申请公布日期 | 2012.10.24 |
| 申请号 | CN201220093483.0 | 申请日期 | 2012.03.14 |
| 申请人 | 南京南大仪器厂 | 发明人 | 袁玫;黄耀生 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种离子溅射仪溅射靶，包括上盖板(4)，所述上盖板(4)上侧设有接线柱(5)，其特征在于：所述上盖板(4)下侧设置靶头(1)，所述靶头(1)为圆形，所述靶头(1)直径为50mm～60mm，所述靶头(1)外表面设有溅射层(2)，所述溅射层(2)涂有溅射材料。 | ||
| 地址 | 210038 江苏省南京市南京经济技术开发区3B01-2地块 | ||