| 发明名称 | 具有旋转过滤器装置的光刻设备 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种包括过滤器装置(149)的光刻设备(1)。过滤器装置(149)具有连接至保持器(201)的多个翼片(200)，所述保持器能够围绕旋转轴线(RA)旋转。所述翼片(200)被布置基本上平行于所述旋转轴线(RA)。所述翼片(200)包括从由碳-碳复合物(C-C复合物)和碳-碳化硅复合物(C-SiC复合物)构成的组中选出的单向碳纤维复合材料。在操作期间，过滤器装置(149)旋转且过滤出来自辐射源(SO)，例如Sn等离子体源的碎片。可以提供这样的过滤器装置(149)本身。 | ||
| 申请公布号 | CN101802714B | 申请公布日期 | 2012.10.10 |
| 申请号 | CN200880106413.0 | 申请日期 | 2008.09.12 |
| 申请人 | ASML荷兰有限公司 | 发明人 | E·J·布斯;T·A·R·范埃姆皮尔 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;C04B35/83(2006.01)I;G21K1/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 王新华 |
| 主权项 | 一种光刻设备，所述光刻设备包括过滤器装置，所述过滤器装置包括连接至保持器的多个翼片，所述保持器能够围绕旋转轴线旋转，所述翼片被布置成基本上平行于所述旋转轴线，且包括从由碳‑碳复合物和碳‑碳化硅复合物构成的组中选出的单向碳纤维复合材料。 | ||
| 地址 | 荷兰维德霍温 | ||