新型水平电镀溢流控制圈

摘要

本实用新型公开了一种新型水平电镀溢流控制圈，其特征在于，包括圆形的圈体，所述圈体包括内圆周与外圆周；所述圈体上表面设置有溢流槽；所述溢流槽的长度自内圆周向外圆周延伸；所述溢流槽内侧设置有凹槽，所述凹槽长度沿圆周方向延伸一周，所述凹槽宽度自内圆周向外圆周方向延伸。本实用新型中的新型水平电镀溢流控制圈，台阶处的低平面与晶圆固定装置相配合，可形成电镀液的回收通道，因此电镀槽外周无需再设置回收槽，简化了电镀槽的结构。本实用新型采用弹性槽体，一是有利于保护晶圆；二是能够密封性更好，可更好地控制电镀液的溢流路线。

主权项

新型水平电镀溢流控制圈，其特征在于，包括圆形的圈体，所述圈体包括内圆周与外圆周；所述圈体上表面设置有溢流槽；所述溢流槽的长度自内圆周向外圆周延伸；所述溢流槽内侧设置有凹槽，所述凹槽长度沿圆周方向延伸一周，所述凹槽宽度自内圆周向外圆周方向延伸。