线性蒸发源机构及具有该机构的精控蒸发装置

摘要

本实用新型提供了一种用于真空环境中对蒸发源进行蒸发的线性蒸发源机构，包括装置本体、绝缘套组件、加热丝及蒸发盖。装置本体上开设有开口向上的收容槽；绝缘套组件固定于收容槽内并包括第一水平绝缘套排，第一水平绝缘套排包括若干呈等间隔凸设于收容槽内并位于同一高度的第一绝缘套；加热丝依次缠绕于第一绝缘套上且两端与外界电源的电性连接；蒸发盖盖设于装置本体上并与收容槽形成加热腔，蒸发盖上开设有与第一绝缘套一一对应的置料槽，置料槽贯穿开设形成蒸发孔。本实用新型的线性蒸发源机构能形成多个独立的点蒸发源，使得蒸发物质在各处的浓度更均匀，从而为基板的均匀性镀膜创造优异的条件。另，本实用新型还公开了一种精控蒸发装置。

主权项

一种线性蒸发源机构，适于设置在呈真空环境的真空腔体内对蒸发源进行线性蒸发，其特征在于，所述线性蒸发源机构包括：装置本体，所述装置本体上开设有开口向上的收容槽；绝缘套组件，所述绝缘套组件固定于所述收容槽内，所述绝缘套组件包括第一水平绝缘套排，所述第一水平绝缘套排包括若干呈等间隔凸设于所述收容槽内的第一绝缘套，凸设于所述收容槽内的第一绝缘套位于同一高度且悬于所述收容槽内；加热丝，所述加热丝的一端依次缠绕于所述第一绝缘套上并与外界电源的正极电性连接，所述加热丝的另一端与外界电源的负极电性连接；以及蒸发盖，所述蒸发盖盖设于所述装置本体上并与所述收容槽形成加热腔，所述蒸发盖上开设有与所述第一绝缘套一一对应的置料槽，所述置料槽贯穿开设形成蒸发孔。