| 发明名称 |
CMP POROUS PAD WITH COMPONENT-FILLED PORES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
MY146815(A) |
申请公布日期 |
2012.09.28 |
| 申请号 |
MY2008PI05335 |
申请日期 |
2005.03.21 |
| 申请人 |
CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION |
发明人 |
ABANESHWAR PRASAD |
| 分类号 |
B24B49/00;B24B37/04;B24D3/32;C09G1/02;H01L21/321 |
主分类号 |
B24B49/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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