钨钛合金靶材加工方法和加工装置

摘要

本发明实施例公开了一种钨钛合金靶材加工方法和加工装置，所述方法包括：采用粒度为120至150目的金刚石磨具对钨钛合金靶材进行机械加工，金刚石磨具转速为3500至4000转/分钟，进给量为每次不大于0.02毫米，进给速度为不大于500毫米/分钟。所述加工装置的材料中包括粒度为120至150目的金刚石。应用本发明实施例提供的加工方法，能够减少钨钛合金材靶材在加工过程中产生的崩裂缺陷，并能够明显的提高加工精度，本发明实施例提供的钨钛合金靶材加工装置的材料中，包括了硬度较高的金刚石，能够提高加工装置的整体硬度，减少钨钛合金靶材的崩裂缺陷，提高加工质量，同时减少加工装置的磨损，无需频繁的更换加工装置，提高加工效率，降低加工成本。

主权项

一种钨钛合金靶材加工方法，其特征在于，包括：采用粒度为120至150目的金刚石磨具对钨钛合金靶材进行机械加工，金刚石磨具转速为3500至4000转/分钟，进给量为每次不大于0.02毫米，进给速度为不大于500毫米/分钟；其中，所述进给速度是指磨具上的磨削基准点沿着磨具运动轨迹相对于被加工工件移动时的速度。