发明名称 |
一种泡生法生长蓝宝石的引晶方法及系统 |
摘要 |
本发明揭示了一种泡生法生长蓝宝石的引晶方法及系统,所述方法包括如下步骤:在观察窗内部通过电子发射器产生电子;产生的电子经加速电压加速后获得高能电子束,得高能电子束撞击由炉体内部挥发出来的原子或分子,形成带电粒子;在观察窗两侧加一个特定强度的电场或磁场,通过电场或磁场的作用改变这些带电粒子的运动方向,使其吸附在观察窗的内壁上,以保护观察窗口。本发明提出的泡生法生长蓝宝石的引晶方法及系统,通过在观察窗两侧加一个特定强度的电场或磁场,改变带电粒子的运动方向,从而使其在未到达观察窗口前吸附在观察窗内壁,解决了观察窗口模糊的技术难题。同时,本发明可以为引晶过程提供充足的时间保证。 |
申请公布号 |
CN102677160A |
申请公布日期 |
2012.09.19 |
申请号 |
CN201210171877.8 |
申请日期 |
2012.05.29 |
申请人 |
上海中电振华晶体技术有限公司 |
发明人 |
帕维尔·斯万诺夫;维塔利·塔塔琴科;陈文渊;刘一凡;孙大伟 |
分类号 |
C30B17/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I |
主分类号 |
C30B17/00(2006.01)I |
代理机构 |
上海金盛协力知识产权代理有限公司 31242 |
代理人 |
王松 |
主权项 |
一种泡生法生长蓝宝石的引晶方法,其特征在于,所述方法包括如下步骤:步骤S1、在观察窗内部通过电子发射器产生电子;步骤S2、步骤S1产生的电子经加速电压加速后获得高能电子束,并撞击由炉体内部挥发出来的原子或分子,形成带电粒子;所述加速电压的范围为20kv~50kv;从炉体内部挥发出来的原子或分子为金属Mo、W原子、O原子中的一种或多种;步骤S3、在观察窗两侧加一个特定强度的电场或磁场,通过电场或磁场的作用改变这些带电粒子的运动方向,使其吸附在观察窗的内壁上,以保护观察窗口;在观察窗两侧加特定的外加电场,外加电场为匀强电场,电场强度E≥2mv2d/(qL2);其中,m代表带电离子的质量,v代表粒子进入观察窗时的速度,设定为匀速运动,d代表观察窗直径,q代表粒子所带电荷量,L代表观察窗的长度;或者,在观察窗两侧加特定的磁场,磁场方向垂直于带电粒子的运动方向,磁场强度B≥2mvd/[q(L2+d2)];其中,m代表带电离子的质量,v代表粒子进入观察窗时的速度,d代表观察窗直径,q代表粒子所带电荷量,L代表观察窗的长度。 |
地址 |
201210 上海市浦东新区宣桥镇南六公路725号108室内-8 |