修整硬遮罩层的方法、形成金氧半导体电晶体之闸极的方法以及用来形成金氧半导体电晶体之闸极的堆叠结构

摘要

一种修整硬遮罩层的方法，提供一基底、一硬遮罩层、一三层堆叠层位于基底上。三层堆叠层包含有一顶层光阻、一含矽层以及一底层光阻。依序图案化顶层光阻、含矽层、底层光阻和硬遮罩层，然后对硬遮罩层进行一修整制程。由于本发明之底层光阻较薄且蚀刻过程中有所耗损，所以不会发生光阻线倒塌的情况。