发明名称 APPAREIL ET PROCÉDÉ DE COLLAGE PAR ADHÉSION MOLÉCULAIRE
摘要 <p>L'appareil de collage par adhésion moléculaire (200) entre deux plaques (20, 30) comprend au moins un dispositif porte-plaque (210) comportant un plateau support (211) constitué d'un élément de support (2110) destinés à recevoir une (20) des deux plaques, et des éléments d'alignement (220, 230, 240) placés autour dudit plateau support. L'élément de support (2110) du plateau support (211) présente une surface de contact globale inférieure à la surface de la plaque (20) destinée à être supportée par l'élément de support (2110).</p>
申请公布号 FR2972078(A1) 申请公布日期 2012.08.31
申请号 FR20110051493 申请日期 2011.02.24
申请人 S.O.I. TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES 发明人 BROEKAART MARCEL;CASTEX ARNAUD
分类号 H01L21/67;H01L21/64 主分类号 H01L21/67
代理机构 代理人
主权项
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