图像拾取装置和图像拾取系统

摘要

本发明公开了一种图像拾取装置和图像拾取系统。该图像拾取装置包括：设置在半导体衬底上的多个光电转换元件；设置在该半导体衬底上的多个布线层；第一绝缘层，覆盖所述多个布线层中的顶部布线层，并且具有平坦的上表面；设置在该第一绝缘层上的钝化层；设置在钝化层上的第二绝缘层，设置在第一绝缘层和钝化层之间的第一防反射膜；以及设置在第二绝缘层和钝化层之间的第二防反射膜。

主权项

一种图像拾取装置，包括：设置在半导体衬底上的多个光电转换元件；设置在该半导体衬底上的多个布线层；第一绝缘层，覆盖所述多个布线层中的顶部布线层，并且具有平坦的上表面；设置在该第一绝缘层上的钝化层；设置在钝化层上的第二绝缘层；设置在第一绝缘层和钝化层之间的第一防反射膜；以及设置在第二绝缘层和钝化层之间的第二防反射膜，其中，所述钝化层的折射率比第一绝缘层和第二绝缘层的折射率高；并且当第一防反射膜的膜厚度和折射率分别用d1和n1表示、第二防反射膜的膜厚度和折射率分别用d2和n2表示时，并且当三基色荧光灯的绿色和红色明线的波长用λ1和λ2表示时，第一和第二防反射膜的膜厚度和折射率在以下范围内：λ1/4≤2n1d1≤3λ1/4和λ2/4≤2n1d1≤3λ2/4，并且λ1/4≤2n2d2≤3λ1/4和λ2/4≤2n2d2≤3λ2/4。