化学制剂处理系统

摘要

本发明公开了一种化学制剂处理系统，包括构造相同的第一子系统和第二子系统、用于在两个子系统之间进行切换的第一方向切换阀、第二方向切换阀和第三方向切换阀以及工艺单元和在线化学分析仪。本发明的系统可以在不需要时间以重新注入化学制剂的情况下利用两个相同子系统的切换持续地向工艺单元提供化学制剂；该系统利用在线化学分析仪的帮助，可以循环再利用在工艺单元中已使用过的化学制剂，降低生产成本；该系统可快速而准确地控制化学制剂的温度、流量和压力。

主权项

一种化学制剂处理系统，其特征在于，包括：第一子系统，包括：第一储罐(1)，第一循环泵(3)，其输入端与所述第一储罐(1)的输出端连接，第四方向切换阀(7)，其输入端与第一循环过滤器(6)的输出端连接，其第二输出端与所述第一储液罐(1)的第三输入端连接；第二子系统，包括：第二储罐(8)，第二循环泵(9)，其输入端与所述第二储罐(8)的输出端连接，第五方向切换阀(13)，其输入端与第二循环过滤器(12)的输出端连接，其第二输出端与所述第二储液罐(8)的第三输入端连接；第一方向切换阀(2)，其第一输出端与所述第一储罐(1)的第一输入端连接，其第二输出端与所述第二储罐(8)的第一输入端连接；第二方向切换阀(16)，其第一输入端与所述第四方向切换阀(7)的第一输出端连接，其第二输入端与所述第五方向切换阀(13)的第一输出端连接；工艺单元(15)，其输入端与所述第二方向切换阀(16)的输出端连接；第三方向切换阀(14)，其输入端与所述工艺单元(15)的第一输出端连接，其第一输出端与所述第一储罐(1)的第二输入端连接，第二输出端与所述第二储罐(8)的第二输入端连接。