发明名称 一种不同气氛下无坩埚生长蓝宝石晶体的方法
摘要 本发明公开了一种不同气氛下无坩埚生长蓝宝石晶体的方法,属于蓝宝石晶体生长领域,包括以下步骤:用高纯原料Al2O3、FeTiO3和Fe2O3制备多晶棒;将多晶棒放入晶体生长炉中,并套上石英管,向其中通入氧气或氩气到一定压力,关闭气体阀门;用0.5-1h升温至料棒和籽晶融化,设置晶体生长速度进行晶体生长;将生长完的晶体冷却至室温;打开气体阀门,气体放出至正常大气压。本发明生长的蓝宝石晶体尺寸大、无宏观缺陷,颜色更加均匀,晶体质量得到提高。
申请公布号 CN102115911B 申请公布日期 2012.08.15
申请号 CN201110068628.1 申请日期 2011.03.22
申请人 北京工业大学 发明人 蒋毅坚;徐宏;范修军;王越
分类号 C30B27/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I 主分类号 C30B27/00(2006.01)I
代理机构 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 代理人 沈波
主权项 一种不同气氛下无坩埚生长蓝宝石晶体的方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)多晶棒制备:将纯度不低于99.9%的高纯氧化物原料Al2O3、FeTiO3和Fe2O3按照配比经过烧结后制得多晶棒;(2)料棒及其籽晶的固定:将多晶棒放入晶体生长炉中,将多晶棒料棒固定在晶体生长的中轴线上部,将多晶棒籽晶固定在晶体生长中轴线下部,然后套上石英管,防止外部气体进入;(3)气氛通入:将晶体生长所需要的气氛通入石英管当中,调整至晶体生长时所需要的气体压力,关闭气体阀门;(4)晶体生长:设置升温速率,用0.5‑1h升温至料棒和籽晶融化,调整料棒和籽晶的转速和旋转方向,待形成稳定溶区后接种,然后设置晶体生长速度进行晶体生长;(5)降温冷却:设置降温时间,将生长完的晶体冷却至室温;(6)气氛排出:将气体阀门慢慢打开,将所通入气体慢慢放出至正常大气压下;步骤(3)的晶体生长气氛分别为氧气或氩气,气体压力为0.5‑1Mpa;步骤(1)中FeTiO3和Fe2O3的质量百分比范围分别为0.6wt%~0.8wt%、0.6wt%~0.8wt%,烧结温度为1350~1550℃,烧结时间为6~12小时;步骤(4)的晶体生长过程中,料棒和籽晶的旋转方向为反向,旋转速度为10~25rpm,晶体生长速度为3~8mm/h。
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