主权项 |
一种工业硅除硼的方法,其特征在于,用将工业硅料(4)放入纯度为99.9%以上的石英环(5)中,在熔炼过程中石英环中的氧渗透进工业硅,在电子束的作用下与硅中的硼结合,生成容易挥发的氧化硼,在真空条件下以气态的形式去除,即在电子束(1)作用下熔炼,利用高真空度将氧化硼去除,具体步骤如下:先将工业硅料(4)放入石英环(5)中;再将石英环(5)放入水冷铜坩埚(7)中,关闭真空装置盖(2);用机械泵(6)、罗兹泵(8)将真空室(3)抽真空,抽到低真空1pa,再用扩散泵(9)将真空抽到高真空10‑3pa以下;然后给电子枪(1)预热,设置高压为25‑35kV,高压预热5‑10分钟,关闭高压,设置电子枪(1)束流为70‑200mA,束流预热5‑10分钟,关闭电子枪(1)束流;同时打开电子枪(1)的高压和束流,稳定后用电子枪(1)轰击工业硅料(4),增大电子枪(1)束流到500‑800mA,持续轰击30‑50分钟;以每分钟50‑200mA的速度调低电子枪(1)的束流直到关闭;最后依次关闭扩散泵(9)、罗兹泵(8)、机械泵(6)待温度降到200℃左右时,打开放气阀(11),打开真空装置盖(2)取出硅材料。 |