| 发明名称 | 在腔室中搬运工件的系统 | ||
| 摘要 | 一种在腔室中搬运工件的系统和方法。搬运系统(100)包括：进出腔室(101)、传输腔室(105)及一个或多个工艺腔室(102、103、104)。所述进出腔室(101)用于接收在一个或多个所述工艺腔室中处理的工件(109)。所述传输腔室(105)用于将工件(109)从一个腔室移动到另一个腔室。所述传输腔室(105)包括旋转台(113)。当装载工件(109)时，旋转台(113)用于旋转至与工艺腔室之一对齐。所述工艺腔室(102、103、104)包括一组电极。所述电极用于使用其它材料处理工件(109)。在所述工艺腔室中，在一对电极之间垂直放置一个工件(109)。每个工件(109)可由工件夹具(110)活动地抬起。工件(109)可装载在一个所述工件夹具(110)上，或分别装载在多个所述工件夹具(110)上。然后，将工件夹具(110)装载在滚筒(111)上，将可以将工件夹具(110)从一个腔室移动到另一个腔室。 | ||
| 申请公布号 | CN101960581B | 申请公布日期 | 2012.07.25 |
| 申请号 | CN200880121056.5 | 申请日期 | 2008.12.31 |
| 申请人 | 东莞宏威薄膜真空技术有限公司 | 发明人 | 范振华 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人 | 张艳美;郝传鑫 |
| 主权项 | 一种在腔室中搬运工件的系统，包括：工艺腔室，所述工艺腔室内安装有复数个垂直排列的电极；平台，包括至少一个工件夹具，所述工件夹具可移动地置于所述工艺腔室内，用于垂直夹住复数个工件；以及设在至少一个所述电极的出口。 | ||
| 地址 | 523000 广东省东莞市南城区宏图高新科技开发区 | ||