发明名称 溅射靶及制造方法
摘要 本发明涉及溅射靶及制造方法,其中,描述了一种加工金属的方法,其包括对金属板进行脉冲轧制直至获得理想厚度,以形成轧板;还进一步描述了溅射靶和其它金属制品。
申请公布号 CN102513353A 申请公布日期 2012.06.27
申请号 CN201110393399.0 申请日期 2006.02.07
申请人 卡伯特公司 发明人 小查尔斯.E.威克沙姆;弗拉迪米尔.I.莱维特;P.托德.亚历山大
分类号 B21B1/38(2006.01)I;B21B15/00(2006.01)I;C22C27/02(2006.01)I;C22F1/18(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I 主分类号 B21B1/38(2006.01)I
代理机构 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人 宋莉
主权项 一种加工金属的方法,包括脉冲轧制金属板,直至获得理想厚度以形成轧板。
地址 美国马萨诸塞州