| 发明名称 | 具有碳化硅包覆层的喷淋头的污染物处理方法 | ||
| 摘要 | 一种具有碳化硅包覆层的喷淋头的污染物处理方法，包括：采用去离子水冲洗所述喷淋头；之后至少采用酸性溶液清洗所述喷淋头。采用本发明提供的处理方法，可以使被污染的喷淋头重新得以使用。 | ||
| 申请公布号 | CN102513313A | 申请公布日期 | 2012.06.27 |
| 申请号 | CN201110453582.5 | 申请日期 | 2011.12.29 |
| 申请人 | 中微半导体设备（上海）有限公司 | 发明人 | 贺小明;陈振军;倪图强 |
| 分类号 | B08B7/04(2006.01)I | 主分类号 | B08B7/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 骆苏华 |
| 主权项 | 一种具有碳化硅包覆层的喷淋头的污染物处理方法，其特征在于，包括：采用去离子水冲洗所述喷淋头；之后至少采用酸性溶液清洗所述喷淋头。 | ||
| 地址 | 201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号 | ||