摆臂式三维轮廓仪

摘要

本发明涉及一种摆臂式三维轮廓仪，该轮廓仪包括：测头系统、横臂、立柱、配重、被测平面元件、工件转台和横臂转台，立柱的一端部位于横臂转台的安装孔中并固定连接，横臂位于立柱的另一端部安装孔中；在横臂的一端部设置有配重，在横臂的另一端部设置有测头系统；工件转台上置有被测平面元件；测头系统的探测端与被测平面元件接触；所述的横臂和立柱，用于完成测头系统的旋转运动；所述的配重用于平衡测头系统和横臂以保证横臂转台保持平稳的旋转。本发明的检测仪可用于大口径、高精度平面元件三维表面轮廓的测量和分析，可测量的参数有三维形貌图、二维形貌图、PV、RMS、三维形貌体积。

主权项

一种摆臂式三维轮廓仪，其特征在于，该轮廓仪包括：测头系统、横臂、立柱、配重、被测平面元件、工件转台和横臂转台；立柱的一端部位于横臂转台的安装孔中并固定连接，横臂位于立柱的另一端部安装孔中；在横臂的一端部设置有配重，在横臂的另一端部设置有测头系统；工件转台上置有被测平面元件；工件转台的旋转轴与横臂转台的旋转轴完全平行，工件转台和横臂转台为同时旋转工作方式；测头系统准确位于工件转台的旋转中心；测头系统的探测端与被测平面元件接触，能测量的参数包括三维形貌图、二维形貌图、PV、RMS和三维形貌体积；所述的横臂和立柱，用于完成测头系统的旋转运动；所述的配重用于平衡测头系统和横臂以保证横臂转台保持平稳的旋转。