半导体元件的高速测试装置及其探针载台

摘要

本发明的测试装置，包含一壳体，被构造为界定一测试室；一元件载台，设置于该壳体内且被构造为承载至少一待测元件；以及至少一探针载台，设置于该壳体内。在本发明的一实施例中，该探针载台包含一基座；一置放臂，枢接于该基座，该置放臂包含一固持部，被构造为承载至少一探针；以及一致动器，设置于该基座上，该致动器被构造为根据一电气信号通过该置放臂向下移动该探针而接触该待测元件或向上移动该探针而离开该待测元件。

主权项

一种探针载台，包含：一基座；一置放臂，枢接于该基座，该置放臂包含一固持部，被构造为承载至少一探针；以及一致动器，设置于该基座上，该致动器被构造为根据一电气信号通过该置放臂向下移动该探针而接触一待测元件或向上移动该探针而离开该待测元件。