发明名称 一种倒金字塔形结构LED芯片的制备方法
摘要 本发明公开一种倒金字塔形结构LED芯片的制备方法,通过两条激光划痕的角度控制,使多余的蓝宝石衬底分离出来,再经过腐蚀或者机械抛光工艺,使划痕侧面光滑平整。最后,得到外观较好的倒金字塔形LED芯片。
申请公布号 CN102368520A 申请公布日期 2012.03.07
申请号 CN201110331173.8 申请日期 2011.10.27
申请人 华灿光电股份有限公司 发明人 宋超;刘榕;张建宝
分类号 H01L33/00(2010.01)I;H01L33/20(2010.01)I 主分类号 H01L33/00(2010.01)I
代理机构 江西省专利事务所 36100 代理人 胡里程
主权项 一种倒金字塔形结构LED芯片的制备方法,其特征在于:该方法包括使用激光对管芯侧面倾斜切割,可以使用两束激光同时切割或者一束激光切割多次的方法,在去除多余蓝宝石衬底后,抛光划痕。
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