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发明名称 MAGNETRON COATING MODULE AND MAGNETRON COATING METHOD
摘要
申请公布号 EP2414557(A1) 申请公布日期 2012.02.08
申请号 EP20100716757 申请日期 2010.03.25
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 PFLUG, ANDREAS;SIEMERS, MICHAEL;SITTINGER, VOLKER;SZYSZKA, BERND;ULRICH, STEPHAN
分类号 C23C14/35;C23C14/00;C23C14/56 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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