| 摘要 |
1. Способ детектирования довзрывных концентраций метана в воздухе, основанный на применении микромощных термокаталитических датчиков, работающих в импульсном режиме в мостовой измерительной схеме, включающей рабочий и сравнительный чувствительные элементы, помещенные в реакционную камеру с диффузионным доступом детектируемой газовой смеси, отличающийся тем, что сокращение неупорядоченного нагрева чувствительных элементов и ускорение наступления регулярного режима с одновременным выходом во внешнедиффузионную зону катализа достигают подачей первоначального кратковременного регулируемого по длительности и амплитуде импульса тока (напряжения) с амплитудой в 1,5-2 раза, превышающей номинальное рабочее значение, и длительностью, достаточной для достижения нагревателем рабочей температуры, затем мгновенно снижают амплитуду тока (напряжения) импульса до номинального значения и производят измерение выходного сигнала в период регулярного режима переходного процесса при достижении величины выходного сигнала ≥95% от установившегося значения. ! 2. Сенсорное устройство, отвечающее условиям функционирования согласно способу п.1, включающее чувствительные элементы мембранного типа, изготовленные по микромашинным технологиям, из нанопористого анодного оксида алюминия (АОА) с напыленными на поверхность мембран тонкопленочными платиновыми нагревателями, токоподводами и контактными площадками, отличающееся тем, что часть мембраны с расположенным на ней нагревателем выделена из основного тела (массы) мембраны и выполнена в форме консоли, соединенной с основной массой мембраны траверсами из АОА с напыленн� |
