一种直写光刻机的自动聚焦光路结构

摘要

本发明公开了一种直写光刻机的自动聚焦光路结构，即直写光刻机的自动聚焦系统。由直写光刻机的图形发生器生成的图案经过光刻物镜并返回后，通过光路分成两束，这两束光故意造成一定的光程差，分别成像在CCD相机的上、下表面，根据CCD相机上、下图案对比度的差异即可判断离焦的情况，从而驱动平台运动，达到快速聚焦的目的。具有速度快、精度高、结构简单等特点。

主权项

一种直写光刻机的自动聚焦光路结构，包括有精密位移平台，所述精密位移平台上放置有晶圆，所述晶圆上方设置有光刻物镜，所述光刻物镜上方设置有图形发生器，所述图形发生器外还设置有照明光源，其特征在于：所述图形发生器和光刻物镜之间设置有第一分光镜，所述第一分光镜一侧的反射光路上设置有第二分光镜，所述第二分光镜上方的反射光路上设置有反射镜，还包括有CCD相机，所述反射镜的反射面朝向CCD相机感光面的上半表面，第二分光镜的透射面朝向CCD相机感光面的下半表面；图形发生器生成光栅图，照明光源发出的光入射至图形发生器后形成光栅图反射光，光栅图反射光经过第一分光镜、光刻物镜后成像于所述晶圆表面，晶圆表面所成的像沿入射光路返回至所述第一分光镜，并被第一分光镜的反射面反射至第二分光镜，一部分光透射过第二分光镜后入射至所述CCD相机感光面的下半表面上，另一部分光依次被所述第二分光镜的反射面、反射镜反射后，入射至所述CCD相机感光面的上半表面上；所述CCD相机的感光面位于所述第二分光镜的透射光的最佳焦面与所述反射镜的反射光的最佳焦面位置中间。