用于制作合成二氧化硅的等离子喷灯

摘要

用于制作合成二氧化硅的等离子喷灯(40)包括使用来自外部石英管(53)的氮气屏蔽气体来提供主动环境隔离。此外，本发明电感等离子喷灯(40)包括环盘(66、70)来实现更紧凑但是更完整的环境保护(360度覆盖)。它还包括偏离并交换化学物质喷嘴(68)的位置，以便在水平模式中工作时能够实现两个方向上的改进的沉积。而且，本发明电感等离子喷灯(40)保持喷射的化学物质的层流，中间石英管(154)设有凹形部分(157)，以用于增加等离子喷流的平均热含量，从而提高等离子喷灯的效率。此外，它还可以利用更多的等离子气体进口(76)。它还包括具有向下角度倾斜的化学物质喷嘴(68)。

主权项

一种用于制作合成二氧化硅的等离子喷灯，包括：外部石英玻璃管，具有第一长度和第一横截面直径以及连接到基座的第一端和朝向衬底的第二端，所述外部石英玻璃管被电感线圈环绕；内部石英玻璃管，具有第二长度和第二横截面直径以及连接到所述基座的第一端和朝向所述衬底的第二端，所述第二横截面直径小于所述第一横截面直径，使得所述内部石英玻璃管被设置成基本上与所述外部石英玻璃管平行且位于所述外部石英玻璃管内；中间石英玻璃管，具有第三长度和第三横截面直径以及连接到所述基座的第一端和朝向所述衬底的第二端，所述第三横截面直径小于所述第一横截面直径并大于所述第二横截面直径，使得所述中间石英玻璃管被设置成基本上与所述外部石英玻璃管和所述内部石英玻璃管平行且位于所述外部石英玻璃管与所述内部石英玻璃管之间，用于提供在所述中间石英玻璃管与所述外部石英玻璃管之间的用于屏蔽气体的通道，并用于提供在所述内部石英玻璃管与所述中间石英玻璃管之间的用于等离子气体的通道，以在所述电感线圈被赋能时产生等离子火焰；第一石英玻璃环盘，同心地连接到所述外部石英玻璃管的所述第二端的外侧；第二石英玻璃环盘，同心地连接到所述中间石英玻璃管的所述第二端的外侧，其中所述屏蔽气体的流型由所述第一石英玻璃环盘和所述第二石英玻璃环盘来确定；以及其中所述中间石英玻璃管的所述第二端延伸超出所述外部石英玻璃管的所述第二端；以及至少一个化学物质喷嘴，位于所述第一石英玻璃环盘与所述第二石英玻璃环盘之间，用于将化学物质源气体喷射到所述等离子火焰中。