发明名称
摘要
申请公布号 JP4796056(B2) 申请公布日期 2011.10.19
申请号 JP20070513068 申请日期 2005.05.12
申请人 发明人
分类号 H01L21/26;H01L21/00;H01L21/20;H01L21/265;H01L21/324 主分类号 H01L21/26
代理机构 代理人
主权项
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