| 摘要 |
<p>팔레트 이송 장치는, 기판을 지지하는 팔레트를 이동하는 기구와 팔레트를 상하 방향으로 이동하는 승강 기구를 구비한다. 상기 승강 기구는, 승강 동작에 있어서 팔레트 상에 지지하는 기판에 가해지는 충격을 완화하는 충격 완화 기구를 구비한다. 기판이 팔레트로부터 충격을 받는 동작 시에, 본 발명의 충격 완화 기구는, 승강 기구의 승강 동작을 제어함으로써, 팔레트 상에 지지하는 기판에 가해지는 충격을 완화한다. 상기 충격 완화 기구는, 승강 기구의 구동 속도를 전환하고, 승강 기구의 동작 개시 시와 동작 종료 전의 적어도 어느 한쪽에 있어서 구동 속도를 저속으로 전환하고, 저속 기간을 제외한 구동 기간의 구동 속도를 고속으로 전환한다.</p> |
