一种扩散间炉门装置

摘要

本实用新型提供了一种扩散间炉门装置，其特征在于：包括像皮条，像皮条竖直设于上料舌头的前端，在像皮条朝向上料舌头的一侧上设有刚性支架。本实用新型提供了由一个不锈钢金属支架加一个橡胶档条组成的校正条，利用金属和橡胶在受力变形的状态下，当力撤除后可以自动恢复的弹性形变现象，使得花篮上的硅片能够自动排列整齐。

主权项

一种扩散间炉门装置，包括炉门（1），炉门（1）设于旋转气缸（3）的伸缩杆（2）上，在旋转气缸（3）的下方设有平移气缸（4），平移气缸（4）的两端分别设有定位轴（5），定位轴（5）的端部连接在水平定位柱（6）上，在水平定位柱（6）的两侧分别设有一竖直定位柱（7），在水平定位柱（6）与竖直定位柱（7）的四个上定位位置上分别设有一第一螺丝顶扣（8），其特征在于：在定位轴（5）上设有一定位卡扣（9），在水平定位柱（6）与竖直定位柱（7）的四个下定位位置上分别设有一第二螺丝顶扣（10）。