探针台装置

摘要

一种可轻松连接以狭间距组装而成的探针组装体、维持稀疏间距之印刷电路板；因此让探针接触受检半导体芯片，并透过探针在检查装置之间进行电气连接的探针台装置上，具有直接连结探针的输出端子，而规则排列包含该输出端子的复数探针群，以形成出数层一体化的探针组装体、及在非导电胶膜表面上黏着与形成出配线的配线电路板，且让形成于第n层配线电路板一端的焊垫排列群、与探针组装体第n列的输出端子群接触后，将形成于该配线电路板另一端的配线端子，连接于检查装置配线电路板或端子连接器，以构成出电气连接的受检半导体芯片与检查装置。

主权项

一种探针台装置，其特征在于：让探针接触受检半导体芯片，并透过探针在检查装置之间进行电气连接的探针台装置上，具有直接连结探针的输出端子，而规则排列包含该输出端子的复数探针群，以形成出数层一体化的探针组装体、及在非导电胶膜表面上黏着与形成出配线的配线电路板，且让形成于任意层之第n层配线电路板一端的焊垫排列群、与探针组装体第n列的输出端子群接触后，将形成于该配线电路板另一端的配线端子，连接于共通配线电路板或端子连接器，以电气连接受检半导体芯片与检查装置。