Planarer Thermosäulen-Infrarotsensor

摘要

Infrarotsensor umfassend: ein Wärmeableitersubstrat (10) mit Bereichen (12) relativ hoher thermischer Leitfähigkeit und Bereichen (14) relativ niedriger thermischer Leitfähigkeit; eine ebene Thermoelementschicht (16) mit einem heißen Übergang (18) und einem kalten Übergang (20), welcher heiße Übergang (18) auf einem Bereich (14) des Wärmeableitersubstrats mit relativ niedriger thermischer Leitfähigkeit angeordnet ist; eine dielektrische Schicht (22) mit niedriger thermischer Leitfähigkeit, die über der Thermoelementschicht (16) angeordnet ist und ein Durchgangsloch (24) aufweist, der zu dem heißen Übergang (18) führt; eine IR-Reflektorschicht (26), welche die dielektrische Schicht (22) niedriger thermischer Leitfähigkeit und die Seitenwände des Durchgangslochs (24) abdeckt, wobei eine Öffnung in der IR-Reflektorschicht (26) an der Stelle des heißen Übergangs vorgesehen ist; und einen IR-Absorber (30; 30') innerhalb des Durchgangskontaktes.