多晶硅铸锭炉真空系统软抽气装置

摘要

一种多晶硅铸锭炉真空系统抽气装置，它的机架装有大抽速真空泵和小抽速真空泵，罗茨泵装在机架顶部；炉体连接管道分为两路，一路由炉体连接管道依次连通气动插板阀、抽气管道、罗茨泵的进气端，而罗茨泵的排气端与大抽速真空泵的抽气端口连接；另一路由炉体连接管道依次连通气动阀、比例阀、密封软管的一端，所述密封软管另一端与小抽速真空泵的抽气端口连接。它一方面能满足多晶硅铸锭炉真空环境的需要；另一方面又能避免硅粉的散落和溢出，从而避免石墨材料的损坏，确保多晶铸锭的生产过程稳定可靠地运行；能满足真空抽气的安全性、高效性且性能稳定等要求，工作可靠性好。

主权项

一种多晶硅铸锭炉真空系统抽气装置，有机架(10)，其特征是，所述机架(10)装有大抽速真空泵(1)和小抽速真空泵(2)，罗茨泵(3)装在机架（10）顶部；炉体连接管道（6）分为两路，一路由炉体连接管道（6）依次连通气动插板阀（5）、抽气管道（4）、罗茨泵（3）的进气端，而罗茨泵（3）的排气端与大抽速真空泵（1）的抽气端口连接；另一路由炉体连接管道（6）依次连通气动阀（7）、比例阀（8）、密封软管（9）的一端，所述密封软管（9）另一端与小抽速真空泵（2）的抽气端口连接。