发明名称 LITHOGRAPHY SYSTEM WITH CAPACITIVE SENSING SYSTEM.
摘要
申请公布号 NL2004054(C) 申请公布日期 2011.07.06
申请号 NL20102004054 申请日期 2010.01.05
申请人 MAPPER LITHOGRAPHY IP B.V. 发明人 STEENBRINK, STIJN WILLEM HERMAN KAREL;BOER, GUIDO;BAAR, JOANNES JACOBUS;PADHYE, KAUSTUBH PRABODH;MOSSEL, ROBERT;VERGEER, NIELS
分类号 G01B7/14;G03F7/20;H01J37/317 主分类号 G01B7/14
代理机构 代理人
主权项
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