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发明名称 METROLOGY SYSTEMS AND METHODS
摘要 Various metrology systems and methods are provided.
申请公布号 WO2011028807(A3) 申请公布日期 2011.06.16
申请号 WO2010US47539 申请日期 2010.09.01
申请人 KLA-TENCOR CORPORATION;KANDEL, DANIEL;LEVINSKI, VLADIMIR;SVIZHER, ALEXANDER;SELIGSON, JOEL;HILL, ANDREW;BACHAR, OHAD;MANASSEN, AMNON;CHUANG, YUNG-HO ALEX;SELA, ILAN;MARKOWITZ, MOSHE;NEGRI, DARIA;ROTEM, EFRAIM 发明人 KANDEL, DANIEL;LEVINSKI, VLADIMIR;SVIZHER, ALEXANDER;SELIGSON, JOEL;HILL, ANDREW;BACHAR, OHAD;MANASSEN, AMNON;CHUANG, YUNG-HO ALEX;SELA, ILAN;MARKOWITZ, MOSHE;NEGRI, DARIA;ROTEM, EFRAIM
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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