探针检测系统

摘要

用于扫描探针显微镜的探针检测系统(74)包括高度检测系统(88)和偏转检测系统(28)。在扫描样品表面时，将从显微镜探针(16)反射的光分离为两个分量。通过偏转检测系统(28)分析第一分量(84)，并且在保持平均探针偏转在扫描期间基本恒定的反馈系统中使用第一分量(84)。由高度检测系统(88)分析第二分量(86)，由此获得对探针在固定参考点以上的高度的指示，并由此获得样品表面的图像。该双检测系统特别适合在快速扫描应用中使用，在这些应用中，反馈系统不能以调整像素位置之间的高度所需的速率进行响应。

主权项

一种用于扫描探针显微镜的检测系统，所述系统包括：光源，用于生成光束以照射探针，所述探针包括具有基部和自由端的悬臂，所述自由端支持尖锐针尖；收集装置，用于收集从所述探针反射的光，其中，所述光束在所述探针的针尖附近照射所述探针的上表面，并且所反射的光包括两个分量：第一分量，根据所述第一分量获得对所述探针的所述上表面的偏转的指示；以及第二分量，用于传输到高度检测系统，所述高度检测系统被设置为从该分量中提取与所述探针的所述上表面相对于参考点的位置有关的信息。