更换光阻过滤器的系统与方法

摘要

本发明是关于一种用以更换光阻过滤器(Resist Filter)的系统与方法，以此种方式来减少过滤器所诱致(Filter-Induced)的晶圆缺陷。在一实施例中，此实施光阻过滤器更换技术的系统至少包括连接至分配器(Dispenser)的过滤系统，此过滤系统还至少包括有过滤器及连接至过滤器的开关，而此开关是用以选择性地连接过滤系统以输通第一化学溶液与第二化学溶液的其中之一。

主权项

一种实施光阻过滤器更换技术的系统，其特征在于：其中该实施光阻过滤器更换技术的系统至少包括：一过滤系统，连接至一分配器，其中该过滤系统至少包括一过滤器，该分配器是用以涂布一晶圆；以及一开关机构，用以选择性地连接该过滤系统以输通一光阻和适用于溶解该光阻的一化学溶液；其中该开关机构在该分配器涂布该晶圆的正常操作期间，连接该过滤系统以输通该光阻；其中该开关机构在更换该过滤器时，连接该过滤系统，以输通该化学溶液。