一种使多孔阳极氧化铝模板不发生卷曲的退火方法

摘要

一种使多孔阳极氧化铝模板不发生卷曲的退火方法，步骤如下：1)采用常规技术制备多孔阳极氧化铝模板并进行通孔扩孔处理；2)以真空管式炉为退火炉，将通孔扩孔处理后的多孔阳极氧化铝模板放入管式炉中，封闭退火炉的排气端，从退火炉的进气端通入保压气体，使炉内气体压强达1.01大气压；3)对多孔阳极氧化铝模板进行升温退火，在此过程中，通过调整进、排气量使退火炉内保压气体的气压值恒定在1.01大气压-1.10大气压，直至退火完成。本发明的有益效果是：该退火方法解决了长期困绕本领域研究者的难题，对于扩展AAO模板的应用研究、推动本领域的技术进步有重要的意义。

主权项

一种使多孔阳极氧化铝模板不发生卷曲的退火方法，其特征在于：步骤如下：1)采用常规技术制备多孔阳极氧化铝模板并进行通孔扩孔处理；2)以真空管式炉为退火炉，将通孔扩孔处理后的多孔阳极氧化铝模板放入管式炉中，封闭退火炉的排气端，从退火炉的进气端通入保压气体，使炉内气体压强达1.01大气压；3)对多孔阳极氧化铝模板进行升温退火，在此过程中，通过调整进、排气量使退火炉内保压气体的气压值恒定在1.01大气压‑1.10大气压，直至退火完成。