| 发明名称 |
Herstellung von Gruppe-III-Nitrid-Halbleiter-Bauteilen |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE112006002487(B4) |
申请公布日期 |
2011.02.24 |
| 申请号 |
DE200611002487T |
申请日期 |
2006.10.03 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL RECTIFIER CORP. |
发明人 |
HE, ZHI;BEACH, ROBERT |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/336;H01L29/20;H01L29/778 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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