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发明名称 Chemical vapor deposition reactor having multiple inlets
摘要
申请公布号 GB2437693(B) 申请公布日期 2011.02.09
申请号 GB20070016537 申请日期 2006.02.15
申请人 BRIDGELUX, INC 发明人 HENG LIU
分类号 C23C16/00;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458;C30B25/14;C30B29/40 主分类号 C23C16/00
代理机构 代理人
主权项
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