发明名称 |
用于制造半导体芯片的方法以及半导体芯片 |
摘要 |
本发明涉及一种用于制造多个半导体芯片(1)的方法。在衬底(8)上提供多个半导体本体(2),其中所述半导体本体(2)通过间隙(25)相互隔开。提供具有多个突起部(35)的结构化载体(33)。将所述结构化载体(33)相对于所述衬底(8)定位成,使得所述结构化载体(33)的所述突起部延伸到所述半导体本体(2)之间的所述间隙(25)内,由此形成机械稳定的合成体(38),所述合成体(38)包括所述衬底(8)和所述结构化载体(33)。将所述合成体(38)分割成多个半导体芯片(1)。此外,本发明涉及一种半导体芯片。 |
申请公布号 |
CN101903995A |
申请公布日期 |
2010.12.01 |
申请号 |
CN200880122155.5 |
申请日期 |
2008.12.08 |
申请人 |
欧司朗光电半导体有限公司 |
发明人 |
斯特凡·伊莱克 |
分类号 |
H01L21/68(2006.01)I;H01L21/50(2006.01)I;H01S5/10(2006.01)I;H01L21/58(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I;H01S5/02(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/68(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
王艳江;张春水 |
主权项 |
一种用于制造多个半导体芯片(1)的方法,具有步骤:a)在衬底(8)上提供多个半导体本体(2),其中所述半导体本体(2)通过间隙(25)相互隔开;b)提供结构化载体(33),所述结构化载体(33)具有多个突起部(35);c)将所述结构化载体(33)相对于所述衬底(8)定位成,使得所述结构化载体(33)的所述突起部(35)延伸到在所述半导体本体(2)之间的所述间隙(25)内;d)形成机械稳定的合成体(38),所述合成体(38)包括所述衬底(8)和所述结构化载体(33);以及e)将所述合成体(38)分割成多个半导体芯片(1)。 |
地址 |
德国雷根斯堡 |