热式流量计

摘要

本发明提供一种高灵敏度且可靠性提高了的热式流量传感器。热式流量计具备取入被测量流体的通路(21)和配置于通路内并对被测量流体的流量进行测量的传感器元件(1)，传感器元件具有半导体基板(2)、形成于半导体基板的空洞部(29)和隔着电绝缘膜(3a)形成于空洞部上的发热电阻体(5)，通过从发热电阻体向被测量流体散热而测量被测量流体的流量，在该热式流量计中，当将与被测量流体的流动方向(6)垂直的垂直方向上的发热电阻体的长度设为Lh，将从被测量流体的流动方向上的发热电阻体的上游侧端部至空洞部(29)的周缘(29a)(隔膜的外周缘(4a))的最接近距离设为Wd时，Lh与Wd的关系为Wd≥0.4Lh。

主权项

一种热式流量计，其具备取入被测量流体的通路和配置于所述通路内并对被测量流体的流量进行测量的传感器元件，所述传感器元件具有半导体基板、形成于所述半导体基板的空洞部和隔着电绝缘膜形成于所述空洞部上的发热电阻体，在所述热式流量计中，通过从所述发热电阻体向被测量流体散热而测量被测量流体的流量，所述热式流量计的特征在于，当将与被测量流体的流动方向垂直的垂直方向上的所述发热电阻体的长度设为Lh，将被测量流体的流动方向上的从所述发热电阻体的上游侧端部至所述空洞部的周缘的最接近距离设为Wd时，Lh与Wd的关系为Wd≥0.4Lh。