金刚石电子发射阴极、电子源、电子显微镜及电子束曝光机

摘要

本发明的目的在于提供高亮度、低能量分散且长寿命的电子发射阴极，提供采用金刚石制造的电子发射阴极。因此，本发明的目的在于提供可充分稳定地把持的，且前端尖锐化了的，提高了电场强度的金刚石电子发射阴极。本发明所涉及的金刚石电子发射阴极(110)至少分为3个区域，即在柱状前端以电子发射为目的的前端区域(203)、在长度方向以在对面上把持为目的的后端区域(201)、经过细径加工的中间区域(202)，后端区域的断面积是0.1mm2以上，前端区域的前端经过尖锐化加工，经过细径加工的中间区域的断面积最大为0.1mm2以下。

主权项

一种至少一部分上具有单结晶金刚石的柱状的金刚石电子发射阴极，其特征在于，上述柱状的金刚石电子发射阴极至少包括以电子发射为目的的前端区域、以把持为目的的后端区域、位于上述前端区域和后端区域之间的经过细径加工的中间区域，上述前端区域的前端部经过尖锐化加工，上述后端区域、上述前端区域、上述中间区域具有共同的主面，在该共同的主面上的至少一部分上形成了导电层，由该导电层来确保上述后端区域和上述前端区域之间的电导通。