用于生产高纯六氟化钨的方法和设备

摘要

本发明提供用于纯化WF6气体的适用新设备和方法，具体提供使用含碳材料通过去除基本所有高挥发性气体杂质和棘手的过渡金属杂质从而生产高纯WF6的设备和方法。本发明尤其适合用于从WF6气体去除铬和钼杂质。

主权项

一种纯化含有过渡金属化合物杂质的六氟化钨气体的方法，该方法包括以下步骤：通过以下步骤从六氟化钨气体分离过渡金属杂质：将初始六氟化钨气流引至含有含碳材料的密封容器；在一定温度下使过渡金属化合物杂质吸附在含碳材料上，使得六氟化钨气体通过该密封容器；和收集通过该密封容器的六氟化钨气体。