发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES FELDEFFEKTTRANSISTORS
摘要
申请公布号 DE50312746(D1) 申请公布日期 2010.07.08
申请号 DE20035012746 申请日期 2003.10.29
申请人 HELMHOLTZ-ZENTRUM BERLIN FUER MATERIALIEN UND ENERGIE GMBH 发明人 KOENENKAMP, ROLF
分类号 H01L51/05;H01L21/336;H01L21/768;H01L27/28;H01L29/775;H01L29/78;H01L29/786;H01L51/00;H01L51/30 主分类号 H01L51/05
代理机构 代理人
主权项
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