发明名称 MASTER TEMPLATE REPLICATION
摘要 <p>Systems and methods for providing multiple replicas from a master template are described. Replicas may be formed having a mesa. In one embodiment, a dummy fill region may be included on master template and/or replicas.</p>
申请公布号 WO2010051023(A1) 申请公布日期 2010.05.06
申请号 WO2009US05868 申请日期 2009.10.29
申请人 MOLECULAR IMPRINTS, INC. 发明人 MILLER, MICHAEL N.;BROOKS, CYNTHIA B.;BROWN, LAURA ANNE;SCHMID, GERARD
分类号 G03F7/00;G11B7/00 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
主权项
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