Verfahren zum Messen der Dicke von in einer Bearbeitungsmaschine bearbeiteten scheibenförmigen Werkstücken

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Messen der Dicke von in einer Bearbeitungsmaschine bearbeiteten scheibenförmigen Werkstücken für integrierte Schaltungen, wobei die Bearbeitungsmaschine eine obere rotierend antreibbare Arbeitsscheibe mit einer ringförmigen Arbeitsfläche aufweist, die einer unteren Arbeitsfläche zugekehrt ist, und wobei die Arbeitsflächen zwischen sich einen Arbeitsspalt bilden, in dem mehrere Läuferscheiben angeordnet sind, die in Ausnehmungen Werkstücke aufnehmen und mittels einer Abwälzvorrichtung in Rotation versetzbar sind, wodurch die Läuferscheiben und damit die in ihnen aufgenommenen Werkstücke sich entlang einer zykloidischen Bahn bewegen. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass mittels eines optischen Messverfahrens die Dicke mindestens eines in der Bearbeitungsmaschine befindlichen Werkstücks gemessen wird. Die Erfindung betrifft außerdem eine entsprechende Bearbeitungsmaschine.