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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zum Bilden eines Metalloxid-Dünnfilms
摘要
申请公布号 DE112008001372(T5) 申请公布日期 2010.04.15
申请号 DE20081101372T 申请日期 2008.05.16
申请人 NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION NAGAOKA UNIVERSITY OF TECHNOLOGY;TOKYO ELECTRON LTD. 发明人 YASUI, KANJI;NISHIYAMA, HIROSHI;TSUKICHI, MASATOSHI;INOUE, YASUNOBU;TAKATA, MASASUKE
分类号 C23C16/40;C01G9/02;H01L21/365 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
主权项
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