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发明名称 METHOD FOR REMOVING DEFECTS FROM SILICON BODIES BY A SELECTIVE ETCHING PROCESS
摘要
申请公布号 EP1095403(B1) 申请公布日期 2010.03.31
申请号 EP20000931029 申请日期 2000.04.26
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 SPITZ, RICHARD;UEBBING, HELGA;EIMERS-KLOSE, DOERTE;LAERMER, FRANZ;SCHILP, ANDREA
分类号 H01L21/302;H01L21/782;H01L21/306;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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